IPRI - www.ipri.kiev.ua -  IPRI - www.ipri.kiev.ua -

"Темп"

Розробка фізико-технічних методів швидкісного формування рельєфних мікрозображень на металевих підкладках

(шифр "Темп") 2006

РЕФЕРАТ

звіт по НДР: стор. 105, рис. 53, табл. 9, джерел 101

ОБ'ЄКТ ДОСЛІДЖЕННЯ: методи швидкісного створення металевих носіїв інформації з оптичним відтворенням даних. В роботі розглянуто використання методів іонного та електрохімічного травлення металевих підкладок для отримання рельєфних мікроструктур з мікронними та субмікронними розмірами, представлені результати експериментальних досліджень процесів виготовлення металевих носіїв з використанням неорганічних фоторезистів.
МЕТА ДОСЛІДЖЕННЯ: розробка фізико-технічних основ технології швидкісного виготовлення штампів для тиражування компакт-дисків, проведення досліджень штампів та металевих носіїв, виготовлених швидкісними методами.
РЕЗУЛЬТАТИ ДОСЛІДЖЕНЬ: - проведено аналіз методів прискорення технологічного процесу виготовлення штампів для тиражування компакт-дисків і показано, що найбільш доцільно використання для вирішення цієї проблеми електрохімічного осадження нікелю у вікнах в шарі фоторезисту на нікелевих підкладках, неорганічних фоторезистів з високою механічною міцністю та підкладок дисків-оригіналів з монокристалічних матеріалів.

- Запропоновано метод отримання рельєфних мікрозображень при опромінюванні сфокусованим лазерним випромінюванням реєструвальних середовищ, отриманих при розкладі металоорганічних сполук.
- Проведено аналіз методів селективного хімічного травлення нікелевих підкладок крізь вікна у негативному резисті і показана можливість виготовлення штампів для тиражування компакт-дисків таким методом.
- Запропонований метод швидкісного виготовлення штампів для тиражування компакт-дисків з використанням неорганічних резистів на базі високотемпературних халькогенідних напівпровідників.
- Отримані експериментальні зразки компакт-дисків, виготовлені з використанням неорганічного фоторезисту, з кількістю коректованих помилок - (3-5)/секунду.
- Отримані експериментальні зразки нікелевих штампів з рельєфними зображеннями, виготовленими з халькогенідного скла.
- Досліджена технологія виготовлення штампів з монокристалічних матеріалів, отримані на підкладках кремнію плазмохімічним травленням рельєфні мікроструктури з розмірами елементів 0,5-2,0 мкм.
- Показана можливість швидкісного виготовлення штампів для тиражування компакт-дисків шляхом нарощування нікелю методами гальванопластики у вікнах в шарі фоторезисту на нікелевих підкладках і визначені режими реалізації цього технологічного процесу.

КЛЮЧОВІ СЛОВА: нікелевий штамп, металевий носій, оптичне зчитування, компакт-диск, гальванопластика, зберігання даних, халькогенідне скло.