IPRI - www.ipri.kiev.ua -  IPRI - www.ipri.kiev.ua -
Раздел [RUS]
Регистрация, хранение и обраб. данных. — 2012. — Т. 14, № 3.
[UKR]
Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2012. — Т. 14, № 3.
[ENG]
Data Rec., Storage & Processing. — 2012. — Vol. 14, N 3.
Страницы 3-11
PDF, full text
Заглавие [RUS]
Регистрирующие материалы для лазерной термолитографии
[UKR]
Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії
[ENG]
Registration Materials for Laser Thermolithography
Авторы [RUS]
Крючин А.А., Рубиш В.М., Костюкевич С.А., Минько В.И., П.Е. Шепелявый, Лисюк В.А., Костюкевич К.В., Сурмач М.А.
[UKR]
Крючин А.А., Рубіш В.М., Костюкевич С.О., Мінько В.І., Шепелявий П.Є., Лисюк В.О., Костюкевич К.В., Сурмач М.А.
[ENG]
Kryuchyn A.A., Rubish V.M., Kostiukevych S.O., Minko V.I., Shepelyavy P.E., Lysyuk V.O., Kostyukevych K.V., Surmach M.A.
Аннотация [RUS]
Представлены результаты анализа свойств фоточувствительных материалов с нелинейной экспозиционной характеристикой. Показано, что существует ряд фото(термо)чувствительных ма-териалов, позволяющих регистрировать изображения, размеры которых меньше диаметра экспонирующего луча. Представлены результаты лазерной записи на неорганических фоторезистах. Ил.: 3. Библиогр.: 21 наим.
[UKR]
Представлено результати аналізу властивостей фоточутливих матеріалів з нелінійною експозиційною характеристикою. Показано, що існує низка фото(термо)чутливих матеріалів, що дозволяють реєструвати зображення, розміри елементів яких менше діаметра експонуючого променя. Представлено результати лазерного запису на неорганічних фоторезистах. Іл.: 3. Бібліогр.: 21 найм.
[ENG]
The results of analysis on the photosensitive properties of materials with nonlinear exposition characteristic have been performed. It is shown that some photo(thermo)sensitive materials allow to register the image of elements having sizes less than the diameter of exposing beam. The results of laser writing to inorganic photoresists are presented. Fig.: 3. Refs: 21 titles.
Ключевые слова [RUS]
термолитография, неорганические фоторезисты, нелинейная экспозиционная характеристика.
[UKR]
термолітографія, неорганічні фоторезисти, нелінійна експозиційна характеристика.
[ENG]
thermolithography, inorganic photoresists, nonlinear exposure characteristics.
Ссылки
Файлы 2012-3-1.pdf