IPRI - www.ipri.kiev.ua -  IPRI - www.ipri.kiev.ua -
Title (journal) Data Rec., Storage & Processing. — 2008. — Vol. 10, N 2.
Pages 32-36
PDF,DOC, full text
Title (article) Apparatus for Investigation of Liquid Etching Processes of Film Objects — Media for Holog-raphy and Optical Information Recording
Authors Tarnaj A.A., Kyrylenko V.K., Rubish V.M., Gera E.V.
Kiev, Ukraine
Annotation An apparatus for investigations of liquid etching kinetics of thin chalcogenide vitreous films (inor-ganic resist) in static, dynamic with circulation and dynamic with utilization of the etchant, modes in the temperature range of 293–353 K and obtaining an information microrelief is developed. Fig.: 4. Refs.: 10 titles.
Key words inorganic resist, liquid etching, dissolving rate, microrelief.
Ссылки 1. Семак Д.Г., Різак В.М., Різак І.М. Фототермоструктурні перетворення халькогенідів. — Ужгород: Закарпаття, 1999. — 392 с.
2. Петров В.В., Крючин А.А., Шанойло С.М., Костюкевич С.А., Кравец В.Г., Лапчук А.С. Оп-тические диски: история, состояние, перспективы развития. — К.: Наук. думка, 2003. — 176 с.
3. Teteris J., Reinfelde M. Application of Amorphous Chalcogenide Semiconductor Thin Films in Optical Recording Technologies // J. of Optoelectronics and Advanced Materials. — 2003. — Vol. 5, N 5. — P. 1355–1360.
4. Петров В.В., Крючин А.А., Костюкевич С.О., Рубіш В.М. Неорганічна фотолітографія. — К.: ІМФ НАНУ, 2007. — 195 с.
5. Венгер Е.Ф., Мельничук А.В., Стронский А.В. Фотостимулированные процессы в халько-генидных стеклообразных полупроводниках и их практическое применение. — К.: Академперио-дика, 2007. — 283 с.
6. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. — М.: Наука, 1973. — 721 с.
7. Пинзеник В.П., Фролова Н.П., Туряница И.И. Селективное травление светочувствительных слоев систем As(Ge)–S(Se) // Некристал. полупроводники. — Ужгород: Патент, 1989. — Ч. 1. — С. 228–230.
8. Пинзеник В.П., Фролова Н.П., Туряница И.И. Фотоиндуцированные изменения в слоях ха-лькогенидных стеклообразных полупроводников и параметры селективного растворения // Успехи научной фотографи. — 1990. — Т. 26. — С. 50–52.
9. Mednikarov B.D. Vacuum deposited As2Se3 — Photoresist. Some Properties and Outlooks // Bulgarian Chemical Communs, 1993. — Vol. 26, N 3/4. — P. 502–513.
10. Зенкин С.А., Мамедов С.Б., Михайлов М.Д. и др. Механизм взаимодействия монолитных стекол и аморфных пленок системы As–S с растворами аминов // Физ. и химия стекла. — 1997. — Т. 23, № 5. — С. 560–568.
Файлы statja.doc