IPRI - www.ipri.kiev.ua -  IPRI - www.ipri.kiev.ua -
Title (journal) Data Rec., Storage & Processing. — 2010. — Vol. 12, N 1.
Pages 3-11
PDF,DOC, full text
Title (article) Analysis of Methods of Forming Relief Nanostructures on the Surface of Data Carriers
Authors Kryuchyn A.A., Kostyukevych S.O.
Kiev, Ukraine
Annotation The results of researches of formation processes of relief nanostructures by using methods of inorganic laser photolithography are presented. It is shown that the application of inorganic photoresists on the basis of chalcogenide vitreous semiconductors for forming relief nanostructures with the sizes of tens of nanometers is promising, experience of using of inorganic photoresists in the process of CD mastering is summarized. Tabl.: 1. Fig.: 1. Refs: 24 titles.
Key words inorganic photoresist, nanostructures, master disk, photothermal destruction, direct mastering.
References 1. Practical Electron Beam Recorder for High-Density Optical and Magnetic Disk Mastering / H. Kitahara, Y. Kojima, M. Kobayashi [et al] // Jap. J. Appl. Phys. — 2006. — Vol. 45, N 2B. — P. 1401– 1406.
2. Katsuyuki Naito. Ultra-Density Storage Media Prepared by Artificially Assisted Self- Assembling Methods / Katsuyuki Naito // Chaos. — 2006.— Vol. 15, N 4. — P. 047507/1–047507/5.
3. Electron Beam Recorder with Nanometer-Scale Accuracy for 100 Gbit/in2 Density Mastering / H. Kitahara, Y. Ozawy, A. Masafumi [et al] // Jap. J. Appl. Phys. — 2004. — Vol. 43, N 7B. — P. 5068– 5073.
4. Nano-Dot and -Pit Arrays with a Pitch of 25 nm ? 25 nm Fabricated by EB Drawing, RIE and Nano-Imprinting for 1 Tb/in2 Storage / S. Hosaka, Z. Mohamad, M. Shirai [et al] // Microelectronic Engineering. — 2008. — Vol. 85. —P. 774–777.
5. Бельский А.Б. Перспективы развития оптических систем для нанолитографии / А.Б. Бель- ский, М.А. Ган, И.А. Миронов, Р.Н. Сейсян // Оптический журнал. — 2009. — Т. 76, № 2. — С. 59–56.
6. Бобков С.Г. Проблемы перехода микроэлектроники в субстананометровую область разме- ров. Ч. 1. Общие положения и возможности литографических и нелитографических методов фор- мирования топологии / С.Г. Бобков, В.Ю. Киреев // Нано- и микросистемная техника. — 2007. — № 5. — С. 11–21.
7. Крючин А.А. Влияние нелинейности регистрирующей среды на плотность записи инфор- мации в оптических запоминающих устройствах / А.А. Крючин, В.В. Петров // Квантовая элек- троника. — 1997. — Т. 4, № 1. — С. 188–190.
8. Петров В.В. О светочувствительности систем на основе стеклообразных халькогенидных полупроводников при высокой мощности облучения / В.В. Петров, А.А. Крючин // Квантовая электроника. — 1974. — Т. 1, № 12. — С. 2618–2620.
9. Костышин М.Т. Поведение светочувствительной системы Ag-As2S3 при облучении им- пульсным лазерным излучением большой мощности / М.Т. Костышин, С.А. Костюкевич // Укр. физ. журн. — 1981. —Т. 26, №. 9. — С. 1561–1563.
10. 405 nm Laser Thermal Lithography of 40 nm Pattern Using Super Resolution Organic Resist Material / Y. Usami, T. Watanabe, Y. Kanazawa [et al] // Applied Physics Express. — 2009. — 2. — P. 126502/1–126502/3.
11. Wilkinson R.L. DVD Mastering Using Dye Polymer Media / R.L. Wilkinson // Optical Data Storage Topical Meeting, 1997. ODS. Conference Digest. —1997, 7–9 Apr. —P. 90–91.
12. Kashiwagi. PTM: an Alternative Solution to Mastering Blue-Ray Disc / Kashiwagi // One Tone. — 2004. — N 8. — P. 57–60.
File RZOD2_04.doc